本申请涉及一种可调谐激光二极管真空分压力测量方法及装置。所述方法包括：通过可调谐二极管激光器射出真空分压力测量的激光，所述激光包括第一路激光、第二路激光和第三路激光；根据所述第一路激光和光谱信号支路，得到所述真空分压力测量的探测光强信号；根据所述第二路激光、所述第三路激光、所述探测光强信号、所述光谱信号支路上的高速数据采集卡、触发信号支路和辅助支路，得到所述真空分压力测量的吸收峰光谱数据；根据所述吸收峰光谱数据和分压力反演算法，反演出所述真空分压力测量的目标气体分压力值。本申请提供了一种新的可调谐激光二极管真空分压力测量方法，具有极其准确的光谱采样间隔，有利于进一步提高真空分压力测量精度。