本发明公开半导体衬底精密抛光机的磨液切换装置及工作方法，能够自动控制切换，选择不同的排出管道，采取不同的处理工艺进行集中处理，结构简单轻便，有效减少整机重量和成本。其安装在半导体衬底精密抛光机的外侧，在抛光机的液体排出管道下方；半导体衬底精密抛光机的液体排出管道在磨水切换槽的右上方，磨水切换槽通过后侧钣金固定到半导体衬底精密抛光机，底侧钣金在左边、右边各连通一个管道；磨水切换漏斗在磨水切换槽内且为一个无盖有底的长方体，下侧板设有孔；微型气缸固定在磨水切换槽上且包括：气缸、气缸杆，气缸通过气缸杆连接到磨水切换漏斗，通过气缸杆的伸缩带动磨水切换漏斗左右运动。