发明公开
- 专利标题: 一种阵列式压电微机械超声操控器件及其操控方法
-
申请号: CN202410002057.9申请日: 2024-01-02
-
公开(公告)号: CN118105879A公开(公告)日: 2024-05-31
- 发明人: 钱金贵 , 张俊杰 , 章伟 , 李显彬 , 王越 , 胡雪峰
- 申请人: 合肥工业大学
- 申请人地址: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 专利权人: 合肥工业大学
- 当前专利权人: 合肥工业大学
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 代理机构: 杭州万合知识产权代理事务所
- 代理商 万珠明; 余冬
- 主分类号: B01F33/30
- IPC分类号: B01F33/30 ; B06B1/06 ; B01F31/80 ; B01L3/00 ; B01F101/44 ; B01F101/23
摘要:
本发明公开了一种阵列式压电微机械超声操控器件,由多个PMUT振元排布形成PMUT阵列;所述PMUT振元包括衬底以及位于衬底上的振动结构;所述衬底包括具有空腔的基底(1),基底(1)上设有埋氧层(2);所述振动结构包括覆盖于埋氧层(2)上方的器件层(3),器件层(3)的上方设有压电层(4),压电层(4)上设置有电极层(5)。通过电信号驱动位于PMUT阵列的单个PMUT振元处于谐振状态,使每个PMUT振元中间形成颗粒团簇;或通过电信号驱动PMUT振元处于谐振状态,在PMUT振元中心滴加油滴后形成颗粒搅拌。本发明可以达到对微米级别的微球或细胞进行聚集或搅拌,具有高效富集和搅拌细胞、器件体积小、重量轻,使用方便的优点。