一种阵列式压电微机械超声操控器件及其操控方法
摘要:
本发明公开了一种阵列式压电微机械超声操控器件,由多个PMUT振元排布形成PMUT阵列;所述PMUT振元包括衬底以及位于衬底上的振动结构;所述衬底包括具有空腔的基底(1),基底(1)上设有埋氧层(2);所述振动结构包括覆盖于埋氧层(2)上方的器件层(3),器件层(3)的上方设有压电层(4),压电层(4)上设置有电极层(5)。通过电信号驱动位于PMUT阵列的单个PMUT振元处于谐振状态,使每个PMUT振元中间形成颗粒团簇;或通过电信号驱动PMUT振元处于谐振状态,在PMUT振元中心滴加油滴后形成颗粒搅拌。本发明可以达到对微米级别的微球或细胞进行聚集或搅拌,具有高效富集和搅拌细胞、器件体积小、重量轻,使用方便的优点。
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