发明授权

曝光机
摘要:
本申请涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种曝光机。装载机构通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时,待曝光件对吸附孔进行封堵,通过负压装置使吸附孔形成负压,通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力,因此密封件受到的大气压力较小,弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力,因此,由密封件承受大部分的大气压力,使密封件紧贴装载台组件,对吸附孔进行封堵,防止漏气现象的产生,保证装载机构吸附待曝光件的有效性,并降低负压装置的功率,降低曝光设备的能耗。如此,降低曝光机能耗。
公开/授权文献
0/0