本发明公开了一种键合合金丝中间退火装置及其方法，涉及退火装置技术领域。该种键合合金丝中间退火装置，包括设置在工作台上的放线组件、退火箱、滴液组件、烘干组件和收线组件，所述退火箱的顶部固定连接有供气管。该种键合合金丝中间退火装置及其方法，在进入退火箱前，能够对键合合金丝本体表面的竹节状，羊毛卷等不良缺陷进行检测，避免不合格的键合合金丝本体进入退火箱内进行退火，保证退火质量的同时，避免人力物力的浪费，在进行退火时，便于根据键合合金丝本体的输送速度，调节键合合金丝本体在退火箱内输送的长度，保证键合合金丝本体的退火时间，并且，便于调节和控制键合合金丝本体的张力，从而保证退火的质量。