一种用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，涉及微电子器件封装的技术领域，解决静电键合设备结构复杂、制造成本、使用成本较高以及键合质量不稳定的技术问题，解决方案为：本设备包括键合组件、电源组件、加热装置和绝缘罩体，键合组件包括键合室、加热部、支撑部、供气部和施压部；支撑部包括在键合室内可移动的支撑台；供气部用于向键合室内冲入惰性气体，施压部包括与支撑部配合以压紧材料试样的施压丝杠；电源组件与电源相连，电源组件与施压丝杠和支撑台相连；加热装置上设有开关键、温度显示器和温度控制板，加热装置分别与加热件和温度检测件相连；绝缘罩体罩设在键合室外。本发明不仅能够提升键合质量，而且结构简单，制造成本低。