发明授权
- 专利标题: 超密线路封装基板及其制作方法
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申请号: CN202410289241.6申请日: 2024-03-14
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公开(公告)号: CN117896908B公开(公告)日: 2024-07-26
- 发明人: 居永明 , 张元敏
- 申请人: 江门市和美精艺电子有限公司
- 申请人地址: 广东省江门市新会区崖门镇新财富环保产业园310座第一层、第二层、第三层、第四层、第五层
- 专利权人: 江门市和美精艺电子有限公司
- 当前专利权人: 江门市和美精艺电子有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省江门市新会区崖门镇新财富环保产业园310座第一层、第二层、第三层、第四层、第五层
- 代理机构: 广州嘉权专利商标事务所有限公司
- 代理商 尹长斌
- 主分类号: H05K3/06
- IPC分类号: H05K3/06 ; H05K1/11 ; H05K3/00 ; H01L21/48 ; H01L23/498
摘要:
本发明提出了一种超密线路封装基板及其制作方法,该方法包括:对基板进行预处理;对预处理后的基板进行线路压膜处理,在基板的表面覆盖干膜;对线路压膜处理后的基板进行中间处理;通过退膜药水、高压装置和超声波装置对中间处理后的基板上的干膜进行剥膜处理;对剥膜后的基板进行烘烤;依次对烘烤后的基板进行微蚀处理和真空闪蚀处理,在基板上生成预设线宽和线间距的线路;对微蚀处理和真空闪蚀处理后的基板进行后处理。在使用mSAP工艺技术制作超密线路封装基板时,提高超密线路封装基板的生产良率。
公开/授权文献
- CN117896908A 超密线路封装基板及其制作方法 公开/授权日:2024-04-16