本发明提供了一种基于MEMS的光学相控阵激光雷达，激光器产生激光经分束器分为两路，一路经过调制作为信号光，另一路作为本振光用于和回波信号相干探测，信号光经1×N分束器分为N路，每路经过移相器补偿其活塞相差和随机相差，并通过控制MEMS微镜阵列对多光束波面进行调控，实现高精度的波束方向控制，通过对阵面进行分割，对N路光束分区进行锁相和实时监控，并提供反馈量控制移相器组和MEMS微镜阵列实现闭环控制，可同时发射不同方向的多路锁相光束，具有对多目标多方位同时进行测距的优点。