本公开涉及光电器件技术领域，提供了一种超表面光学器件的光学单元几何参数确定方法及光学器件。该超表面光学器件包括多个晶胞，各晶胞包括设置于衬底上的光学单元，该方法包括根据目标无衍射光束类型确定其对应的第一二维相位分布；根据目标光斑阵列确定其对应的第二二维相位分布；对第一二维相位分布和第二二维相位分布进行叠加，获得第三二维相位分布；根据几何参数与透射率的对应关系以及几何参数与透射相位的对应关系，与第三二维相位分布进行匹配，以获得光学单元对应的几何参数。采用本公开的方法所获得的超表面光学器件，可显著减小器件体积，适用范围广泛，同时可灵活选择无衍射光束与光斑阵列，满足了多样化的使用需求。