发明公开
- 专利标题： 处理设备和用于处理工件的方法
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申请号： CN202311673463.X申请日： 2016-12-12
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公开(公告)号： CN117804187A公开(公告)日： 2024-04-02
- 发明人: O·伊格劳尔 , K·沃尔 , 迪特马尔·威兰
- 申请人： 杜尔系统股份公司
- 申请人地址： 德国比蒂格海姆-比辛根
- 专利权人： 杜尔系统股份公司
- 当前专利权人： 杜尔系统股份公司
- 当前专利权人地址： 德国比蒂格海姆-比辛根
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 张会华; 岳红杰
- 优先权： PCT/EP2016/075206 20161020 EP PCT/EP2016/075206 20161020 EP
- 主分类号： F26B15/12
- IPC分类号： F26B15/12 ; F26B21/00 ; F26B21/02 ; F26B25/06 ; B05D3/04
摘要：
为了提供一种构造简单且能够实现高能效工件处理的处理设备，建议该处理设备包括：处理室，该处理室包括多个处理室区段，所述处理室区段各自被分配给所述处理设备的多个单独的循环空气模块中的一个；加热设备，该加热设备包括加热气体管道，其中多个循环空气模块联接所述加热气体管道，特别用于加热被引导穿过所述处理室区段的气体。
IPC分类:
