一种芯片缺陷检测方法和系统
摘要:
本发明涉及一种芯片缺陷检测方法和系统,其中,方法包括:获取芯片的一维振动信号并转化为二维图像数据,通过二维图像数据训练算法NAS,并对算法NAS进行优化,得到神经架构搜索算法模型ASNDARTS,基于所述神经架构搜索算法模型ASNDARTS构建知识蒸馏算法模型DPSKD,获取待检测芯片的一维振动信号并转化为二维图像数据,通过所述知识蒸馏算法模型DPSKD对待检测芯片的二维图像数据进行检测,以判断待检测芯片是否存在缺陷。本发明对算法NAS进行了优化,并对知识蒸馏传递方式进行了优化,得到的模型DPSKD在模型冗余度降低的前提下有效提高芯片缺陷检测的准确性。
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