发明公开
- 专利标题: 一种芯片缺陷检测方法和系统
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申请号: CN202311829612.7申请日: 2023-12-28
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公开(公告)号: CN117788427A公开(公告)日: 2024-03-29
- 发明人: 李可 , 孙钰 , 明雪飞 , 宿磊 , 顾杰斐 , 赵新维
- 申请人: 江南大学 , 中国电子科技集团公司第五十八研究所
- 申请人地址: 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号;
- 专利权人: 江南大学,中国电子科技集团公司第五十八研究所
- 当前专利权人: 江南大学,中国电子科技集团公司第五十八研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号;
- 代理机构: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所
- 代理商 朱振德
- 主分类号: G06T7/00
- IPC分类号: G06T7/00 ; G06N3/045 ; G06N3/0985 ; G06N3/096 ; G06N3/047 ; G06N3/0495
摘要:
本发明涉及一种芯片缺陷检测方法和系统,其中,方法包括:获取芯片的一维振动信号并转化为二维图像数据,通过二维图像数据训练算法NAS,并对算法NAS进行优化,得到神经架构搜索算法模型ASNDARTS,基于所述神经架构搜索算法模型ASNDARTS构建知识蒸馏算法模型DPSKD,获取待检测芯片的一维振动信号并转化为二维图像数据,通过所述知识蒸馏算法模型DPSKD对待检测芯片的二维图像数据进行检测,以判断待检测芯片是否存在缺陷。本发明对算法NAS进行了优化,并对知识蒸馏传递方式进行了优化,得到的模型DPSKD在模型冗余度降低的前提下有效提高芯片缺陷检测的准确性。