本发明属于电厂用水品质提升的技术领域，涉及一种颗粒催化剂、微流控反应器件及溶解氧响应式低温微流控加氢除氧工艺。将凝胶型二氧化硅依次进行浸泡处理和加热煮沸处理，再加入硝酸铜、硝酸镍、硝酸钙，使凝胶型二氧化硅充分吸附，然后收集固体材料并加热至400~500℃煅烧处理，机械分散、过筛，即得颗粒催化剂。本发明通过制备的颗粒催化剂与微流控管式反应器的配合，能够实现较低温度下除盐水高效稳定的加氢除氧过程，不仅可提供高品质的给水，同时可降低设备运行故障率。