发明公开
- 专利标题： 可蒸发吸气剂的基于氧化物的掺杂
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申请号： CN202311131726.4申请日： 2023-09-04
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公开(公告)号： CN117771928A公开(公告)日： 2024-03-29
- 发明人: J·唐斯 , 马赫迪·莫哈杰里 , 迪安·爱文德·约翰逊
- 申请人： 霍尼韦尔国际公司
- 申请人地址： 美国北卡罗来纳州
- 专利权人： 霍尼韦尔国际公司
- 当前专利权人： 霍尼韦尔国际公司
- 当前专利权人地址： 美国北卡罗来纳州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 李晨; 任霄
- 优先权： 17/935,878 20220927 US
- 主分类号： B01D53/81
- IPC分类号： B01D53/81
摘要：
本文描述用于可蒸发吸气剂的基于氧化物的掺杂的系统和方法。在某些实施方案中，一种方法包括将第一吸气剂材料与第二吸气剂材料混合以产生混合吸气剂材料。该方法还包括将氧化物掺杂剂与该混合吸气剂材料混合以产生掺杂吸气剂材料。此外，该方法包括将该掺杂吸气剂材料密封在装置内。此外，该方法包括向该掺杂吸气剂材料施加热量，以使该掺杂吸气剂材料放出掺杂气体以沉积在该装置的内表面上。
IPC分类:
