发明公开
- 专利标题: 一种制备石墨烯基板的自动化设备
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申请号: CN202311769574.0申请日: 2023-12-20
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公开(公告)号: CN117747443A公开(公告)日: 2024-03-22
- 发明人: 冯宇翔 , 黄浩
- 申请人: 广东汇芯半导体有限公司
- 申请人地址: 广东省佛山市南海区丹灶镇仙湖度假区养生路10号之一
- 专利权人: 广东汇芯半导体有限公司
- 当前专利权人: 广东汇芯半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省佛山市南海区丹灶镇仙湖度假区养生路10号之一
- 代理机构: 佛山市禾才知识产权代理有限公司
- 代理商 刘羽波
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48
摘要:
本发明公开了一种制备石墨烯基板的自动化设备,包括机架、加工台、传输单元、第一工序单元、第二工序单元、第三工序单元和第四工序单元;加工台设置在机架上,传输单元设置在加工台;第一工序单元、第二工序单元、第三工序单元和第四工序单元沿机架的长度方向依序设置;第一工序单元用于在产品上的第一预定区域压合铜箔圆片;第二工序单元用于在产品上的第二预定区域印刷胶体线路;第三工序单元用于在产品上的第二预定区域喷附石墨烯粉;第四工序单元用于对产品进行高温固化;本发明旨在提供一种制备石墨烯基板的自动化设备,实现多个石墨烯基板的同时加工生产,提高了生产效率和生产精度,使产品的生产更加稳定。
IPC分类: