本发明公开了一种制备超纯氨的工艺及装置，所述工艺采用工业氨为原料，经液氨汽化器气化后进入预处理单元经过吸附塔和膜分离器依次脱除水分、C5~C9的烃类杂质；经过脱重精馏塔、脱轻精馏塔依次脱除重组分和轻组分后获得超纯氨；所述吸附塔装填有活性炭、分子筛、γ‑Al2O3等中的一种或多种，膜分离器内装填有中空纤维膜。所述装置，液氨储罐、屏蔽泵、汽化器、吸附塔、膜分离器、脱重精馏塔、脱轻精馏塔通过管道依次连接，脱重精馏塔安装有脱重精馏塔塔顶冷凝器，脱轻精馏塔安装有脱轻精馏塔塔顶冷凝器，脱轻精馏塔塔釜依次连接超纯氨储罐、超纯氨输送泵、超纯氨钢瓶。该工艺和装置能有效去除水、金属、C5~C9的高级烃等杂质获得超纯氨。