一种螺旋翻搅吹扫的氮化硅原料混合器及其混合方法
Abstract:
本发明涉及氮化硅制备技术领域,具体为一种螺旋翻搅吹扫的氮化硅原料混合器及其混合方法,包括:支架,所述支架上固定安装有混合桶,所述混合桶端部固定有储料桶;中空杆,转动安装在所述混合桶内,所述中空杆上固定有转动套筒;送气管,固定在所述中空杆外壁且呈圆周等距分布有多个,所述送气管与所述中空杆接通,所述混合桶内设置有与所述送气管和所述中空杆连接的同步送料机构;驱动机构,设置在所述支架上且与所述转动套筒连接;转速调控组件,设置在所述混合桶内且与所述驱动机构和所述转动套筒连接;导通调控组件,设置在所述混合桶上且与所述驱动机构连接;角度调节机构,设置在所述混合桶内且与所述送气管和所述转速调控组件连接。
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