射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质
摘要:
本发明涉及射频电源技术领域,揭露一种射频电源在不同频率下的校准方法,包括:获取输入射频电源的多个预计输出功率以及多个实际输出功率;计算相互对应的预计输出功率和实际输出功率之间的比值,得到多个比例系数;获取多个预计输出功率的射频频率,并构建频率比例函数;获取用户需要输出的目标输出功率,并查询目标输出功率对应的射频频率,得到目标输出频率;通过频率比例函数查询所述目标输出频率对应的比例系数,得到目标比例系数,对射频电源的输出功率进行调整,使得射频电源的输出功率等于目标输出功率。本发明还提出一种射频电源在不同频率下的校准装置、设备及存储介质。本发明可以提升射频电源的稳定性。
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