- 专利标题: 射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质
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申请号: CN202410156962.X申请日: 2024-02-04
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公开(公告)号: CN117691837B公开(公告)日: 2024-04-16
- 发明人: 钟奋忠 , 邓顶阳 , 张振伟
- 申请人: 深圳市广能达半导体科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区新桥街道黄埔社区上南东路128号1号厂房五层
- 专利权人: 深圳市广能达半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市广能达半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区新桥街道黄埔社区上南东路128号1号厂房五层
- 代理机构: 深圳市远航专利商标事务所
- 代理商 张朝阳
- 主分类号: H02M1/00
- IPC分类号: H02M1/00

摘要:
本发明涉及射频电源技术领域,揭露一种射频电源在不同频率下的校准方法,包括:获取输入射频电源的多个预计输出功率以及多个实际输出功率;计算相互对应的预计输出功率和实际输出功率之间的比值,得到多个比例系数;获取多个预计输出功率的射频频率,并构建频率比例函数;获取用户需要输出的目标输出功率,并查询目标输出功率对应的射频频率,得到目标输出频率;通过频率比例函数查询所述目标输出频率对应的比例系数,得到目标比例系数,对射频电源的输出功率进行调整,使得射频电源的输出功率等于目标输出功率。本发明还提出一种射频电源在不同频率下的校准装置、设备及存储介质。本发明可以提升射频电源的稳定性。
公开/授权文献
- CN117691837A 射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质 公开/授权日:2024-03-12