本发明提供了一种用于多晶硅冷氢化装置的四氯化硅汽化系统及汽化工艺，涉及多晶硅技术领域。所述汽化系统包括：混合器和汽化器；所述汽化器包括壳体、设置在壳体内部的换热器，以及上进料管和下进料管；所述换热器包括换热管和设置在换热管两端的管板，所述换热管为竖直设置的直管，所述管板分别与所述壳体固定连接；所述混合器分别与所述上进料管和所述下进料管连通，所述上进料管设置在所述换热器的上方，所述下进料管设置在所述换热器的下方，所述上进料管上和所述下进料管上均开设有若干个孔隙；所述汽化器的顶部设置有气体出口，用于排出四氯化硅和氢气的混合气。