发明授权
- 专利标题: 平扫两层解析的X射线吹膜测厚仪
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申请号: CN202410038425.5申请日: 2024-01-11
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公开(公告)号: CN117553715B公开(公告)日: 2024-03-12
- 发明人: 肖文科 , 范国军
- 申请人: 玻尔兹曼(广州)科技有限公司
- 申请人地址: 广东省广州市花都区狮岭镇瑞园路16号自编6号厂房第2层西侧
- 专利权人: 玻尔兹曼(广州)科技有限公司
- 当前专利权人: 玻尔兹曼(广州)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省广州市花都区狮岭镇瑞园路16号自编6号厂房第2层西侧
- 代理机构: 广州市华创源专利事务所有限公司
- 代理商 吴宝仪
- 主分类号: G01B15/02
- IPC分类号: G01B15/02
摘要:
本发明属于测厚仪技术领域,特别涉及平扫两层解析的X射线吹膜测厚仪,包括装置本体、测厚仪本体、隔板以及移动板,所述装置本体的内壁一侧且位于两个隔板之间固定连接有齿条,所述移动板的顶端一侧固定连接有固定架,所述固定架的顶端固定连接有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出端固定连接有第一齿轮,所述第一齿轮与齿条相啮合,所述装置本体的内部设置有转向装置,通过转向装置能够使得测厚仪本体进行转动。本发明通过设置有齿条以及第一齿轮,通过第一伺服电机驱动第一齿轮转动,使得移动板能够通过齿条进行左右移动,有利于将测厚仪本体移动到膜的位置,进而对膜测量厚度。
公开/授权文献
- CN117553715A 平扫两层解析的X射线吹膜测厚仪 公开/授权日:2024-02-13