平扫两层解析的X射线吹膜测厚仪
摘要:
本发明属于测厚仪技术领域,特别涉及平扫两层解析的X射线吹膜测厚仪,包括装置本体、测厚仪本体、隔板以及移动板,所述装置本体的内壁一侧且位于两个隔板之间固定连接有齿条,所述移动板的顶端一侧固定连接有固定架,所述固定架的顶端固定连接有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出端固定连接有第一齿轮,所述第一齿轮与齿条相啮合,所述装置本体的内部设置有转向装置,通过转向装置能够使得测厚仪本体进行转动。本发明通过设置有齿条以及第一齿轮,通过第一伺服电机驱动第一齿轮转动,使得移动板能够通过齿条进行左右移动,有利于将测厚仪本体移动到膜的位置,进而对膜测量厚度。
公开/授权文献
0/0