本发明公开了一种氟氯化合物的分析设备及其分析方法，所述分析设备包括进气切换单元，包含第一六通阀、第二六通阀，第一六通阀的阀口2向外连接有样品进气管、第一载气管，阀口6向外连接有第二载气管，阀口3向外连接有排气管；负压取样单元，包含连接到排气管的真空泵、以及连接于第一六通阀的阀口1与阀口4的定量环；检测单元，包含第一热导检测器和第二热导检测器，第一热导检测器通过第一分离柱连接到第一六通阀的阀口5，第一热导检测器的出气端连接到第二六通阀的阀口12；第二热导检测器的进气端通过第二分离柱、转换柱连接到第二六通阀的阀口7，第二六通阀的阀口9连接到阀口11。本发明能够高效实现氟氯化合物的定性、定量分析检测。