钛酸钡陶瓷薄膜的制备方法及薄膜
摘要:
本发明涉及压电薄膜技术领域,具体涉及钛酸钡陶瓷薄膜的制备方法及薄膜。首先,制备钛酸钡前驱体溶胶,该步中钡源的重量百分比为9wt%~12wt%;接着,将溶胶静电纺丝到具有拓扑结构的纺丝模板上得到钛酸钡前体薄膜,纺丝厚度为3μm~10μm;最后对薄膜在600℃~650℃温度区间煅烧8h得到钛酸钡陶瓷薄膜。本申请通过钡源的重量百分比保证纺丝顺利进行,调节纺丝厚度实现微米厚度纺丝,申请人发现在纺丝厚度为3μm~10μm区间内薄膜具有自支撑性,结合拓扑结构纺丝模板能赋予薄膜超弹和翻折无损的性能,最终通过煅烧参数的设置保证薄膜具备良好的柔性和压电性能。
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