发明公开
- 专利标题: 钛酸钡陶瓷薄膜的制备方法及薄膜
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申请号: CN202310657340.0申请日: 2023-06-05
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公开(公告)号: CN117466640A公开(公告)日: 2024-01-30
- 发明人: 田晓宝 , 曾庆昊 , 楼旭辉 , 梁英 , 蒋鸿 , 韩书朗 , 王凯
- 申请人: 四川大学
- 申请人地址: 四川省成都市一环路南一段24号
- 专利权人: 四川大学
- 当前专利权人: 四川大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市一环路南一段24号
- 代理机构: 四川中代知识产权代理有限公司
- 代理商 王鸿
- 主分类号: C04B35/468
- IPC分类号: C04B35/468 ; C04B35/622 ; D04H1/728 ; D01D5/00 ; D06C7/00 ; D04H1/4209
摘要:
本发明涉及压电薄膜技术领域,具体涉及钛酸钡陶瓷薄膜的制备方法及薄膜。首先,制备钛酸钡前驱体溶胶,该步中钡源的重量百分比为9wt%~12wt%;接着,将溶胶静电纺丝到具有拓扑结构的纺丝模板上得到钛酸钡前体薄膜,纺丝厚度为3μm~10μm;最后对薄膜在600℃~650℃温度区间煅烧8h得到钛酸钡陶瓷薄膜。本申请通过钡源的重量百分比保证纺丝顺利进行,调节纺丝厚度实现微米厚度纺丝,申请人发现在纺丝厚度为3μm~10μm区间内薄膜具有自支撑性,结合拓扑结构纺丝模板能赋予薄膜超弹和翻折无损的性能,最终通过煅烧参数的设置保证薄膜具备良好的柔性和压电性能。
IPC分类: