本发明适用于豆制品加工技术领域，提供了一种豆制品加工用杀菌脱水干燥装置，包括架设在传送底座总成顶部的顶箱，位于所述顶箱和传送底座总成之间加装有多个呈等间距分布的豆制品单位加工件；豆制品单位加工件内部加装有微波发生器和加热器；豆制品单位加工件包含有加工顶盖组件和振动储料斗件；微波发生器和加热器安装在加工顶盖组件内部，加工顶盖组件上包含有摇晃组件，振动储料斗件转动装配在传送带结构A上；利用摇晃组件摇晃豆制品单位加工件加工单元内部的待加工豆制品，提高待加工豆制品与微波发生器和加热器进行杀菌和脱水干燥提供的条件的接触面积，实现提高微波发生器和加热器加工待加工豆制品的效率和加工质量。