- 专利标题: 一种蒸镀机镀膜控制优化方法、装置、设备及存储介质
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申请号: CN202311358274.3申请日: 2023-10-18
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公开(公告)号: CN117408052B公开(公告)日: 2024-07-09
- 发明人: 毛震 , 罗凡明
- 申请人: 南栖仙策(南京)高新技术有限公司
- 申请人地址: 江苏省南京市江宁区麒麟科技创新园天骄路100号江苏南京侨梦苑A栋703室
- 专利权人: 南栖仙策(南京)高新技术有限公司
- 当前专利权人: 南栖仙策(南京)高新技术有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市江宁区麒麟科技创新园天骄路100号江苏南京侨梦苑A栋703室
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 王婷
- 主分类号: G06F30/20
- IPC分类号: G06F30/20 ; G06F18/214 ; G06F18/213 ; G06F18/20 ; C23C14/54 ; C23C14/24
摘要:
本发明公开了一种蒸镀机镀膜控制优化方法、装置、设备及存储介质。该优化方法包括:建立蒸镀机的镀膜模型,其中,镀膜模型包括多个蒸发舟,每一蒸发舟对应一测试点位;向镀膜模型输入蒸镀机的镀膜函数;其中,镀膜函数包括最大送丝速度函数、蒸发速度函数、蒸汽浓度熔合函数和镀膜厚度转换函数;采用MAPPO算法对每一蒸发舟的送丝参数进行优化,以使镀膜模型根据优化后的送丝参数镀膜后的厚度与目标厚度的差值的绝对值小于预设阈值。本发明的技术方案可以实现对多个蒸发舟的送丝参数进行优化,实现对多个蒸发舟的协同控制。
公开/授权文献
- CN117408052A 一种蒸镀机镀膜控制优化方法、装置、设备及存储介质 公开/授权日:2024-01-16