电磁阀密封式外供油屏蔽油管
摘要:
本申请公开了电磁阀密封式外供油屏蔽油管,属于真空镀膜技术领域,其包括设置于真空腔室内的屏蔽油管,屏蔽油管内开设有用于输油的管路,屏蔽油管上设置有中心蒸发盒,屏蔽油管的一侧设置有供油机构,供油机构位于真空腔室外,供油机构能够给屏蔽油管输油,中心蒸发盒能够加热屏蔽油管内的油,使得管路内产生油蒸汽,屏蔽油管上还设置有多组控制机构,控制机构能够阻止油蒸汽排出屏蔽油管外;中心蒸发盒包括第一电磁阀、单向阀以及加热棒,屏蔽油管开设有与管路相连通的安装槽,屏蔽油管上固定连接有安装座,第一电磁阀安装于安装座上,单向阀固定连接于安装座上,且单向阀位于安装槽内。本申请提高了外供油式屏蔽油管的密封效果。
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