发明公开
- 专利标题: 电磁阀密封式外供油屏蔽油管
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申请号: CN202311517404.3申请日: 2023-11-15
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公开(公告)号: CN117249330A公开(公告)日: 2023-12-19
- 发明人: 王勇 , 吴涛
- 申请人: 合肥东昇机械科技有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区集贤路2606号
- 专利权人: 合肥东昇机械科技有限公司
- 当前专利权人: 合肥东昇机械科技有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区集贤路2606号
- 主分类号: F16L53/30
- IPC分类号: F16L53/30 ; F16K15/06 ; F16K31/06 ; C23C14/04
摘要:
本申请公开了电磁阀密封式外供油屏蔽油管,属于真空镀膜技术领域,其包括设置于真空腔室内的屏蔽油管,屏蔽油管内开设有用于输油的管路,屏蔽油管上设置有中心蒸发盒,屏蔽油管的一侧设置有供油机构,供油机构位于真空腔室外,供油机构能够给屏蔽油管输油,中心蒸发盒能够加热屏蔽油管内的油,使得管路内产生油蒸汽,屏蔽油管上还设置有多组控制机构,控制机构能够阻止油蒸汽排出屏蔽油管外;中心蒸发盒包括第一电磁阀、单向阀以及加热棒,屏蔽油管开设有与管路相连通的安装槽,屏蔽油管上固定连接有安装座,第一电磁阀安装于安装座上,单向阀固定连接于安装座上,且单向阀位于安装槽内。本申请提高了外供油式屏蔽油管的密封效果。
公开/授权文献
- CN117249330B 电磁阀密封式外供油屏蔽油管 公开/授权日:2024-02-09