- 专利标题： 基于静电正负刚度平衡设计的准零刚度MEMS加速度计
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申请号： CN202311291045.4申请日： 2023-10-08
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公开(公告)号： CN117031070B公开(公告)日： 2024-01-12
- 发明人: 宦荣华 , 刘志强 , 施展 , 马泽军 , 黄志龙
- 申请人： 浙江大学 , 浣江实验室
- 申请人地址： 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 专利权人： 浙江大学,浣江实验室
- 当前专利权人： 浙江大学,浣江实验室
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 代理机构： 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 杨亚男
- 主分类号： G01P15/13
- IPC分类号： G01P15/13
摘要：
准零刚度特性。本发明公开了一种基于静电正负刚度平衡设计的准零刚度MEMS加速度计，属于准零刚度加速度计技术领域。包括基于敏感质量块的加速度计主体部分、以及连接加速度计主体部分四个方位角的静电负刚度梳齿结构，每一个独立的静电负刚度梳齿结构均由第三固定梳齿阵列和第三移动梳齿阵列构成，所述的第三移动梳齿阵列连接加速度计主体部分中的敏感质量块的方位角，第三固定梳齿阵列连接溅射有金属电极层的静电负刚度梳齿固支锚点；四个方位角上的静电负刚度梳齿结构产生的静电力方向相同，且所述的(56)对比文件Xia L, et al.Feedback control ofnonlinear stochastic dynamic systems foraccurately tracking a specifiedstationary probability density function.《JOURNAL OF VIBRATION AND CONTROL》.2023,第29卷(第7-8期),第1667-1677页.张少峰,陈花玲.一种高分辨率电容微加速度计的设计研究.微纳电子技术.2004,(03),第32-36页.
公开/授权文献
- CN117031070A 基于静电正负刚度平衡设计的准零刚度MEMS加速度计 公开/授权日：2023-11-10
IPC分类:
