Invention Publication
CN116952135A 光学测量装置与测量方法
审中-实审
- Patent Title: 光学测量装置与测量方法
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Application No.: CN202210392879.3Application Date: 2022-04-14
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Publication No.: CN116952135APublication Date: 2023-10-27
- Inventor: 黄建德 , 黄敬恒 , 粘弘昇 , 张信泽 , 陈旅涵
- Applicant: 金溪惠亚科技有限公司
- Applicant Address: 江西省抚州市金溪县秀谷镇工业园D区
- Assignee: 金溪惠亚科技有限公司
- Current Assignee: 金溪惠亚科技有限公司
- Current Assignee Address: 江西省抚州市金溪县秀谷镇工业园D区
- Agency: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
- Agent 孙皓晨
- Main IPC: G01B11/02
- IPC: G01B11/02 ; G01B11/03
Abstract:
本发明公开一种光学测量装置与测量方法，其中主要利用三个激光测量仪进行激光测量，先测量一样本板以定义各激光测量仪之间的关系，然后再测量待测板，可达到方便测量待测板的目的；此外，还可以影像测量进行辅助，影像测量以计算水平及垂直像素间距离的方式算出待测板的四边长，可以此减少误差。
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