生长高质量碳化硅晶体的装置及方法
摘要:
本发明提供了一种生长高质量碳化硅晶体的装置、方法,涉及碳化硅晶体生长领域,该装置包括坩埚、保温层、感应线圈及感应发热环,坩埚的顶部设置有籽晶,保温层设置于坩埚的外侧,感应线圈围绕保温层设置,感应发热环设置于保温层内且围绕籽晶设置,感应发热环的内壁与坩埚的外壁间隔设置且被保温层阻隔。该装置及配套的方法通过在坩埚的顶部位置增设感应发热环,可以改变感应线圈通电时坩埚顶部位置的磁场,使得坩埚顶部位置产生的热量减少,温度降低,从而增大坩埚轴向上的温度梯度,提高碳化硅晶体的生长速率,同时减小坩埚径向上的温度梯度,提高碳化硅晶体的生长质量。
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