本发明涉及压电泵技术领域，尤其涉及一种高频驱动机构及无阀压电泵，包括：压电陶瓷层和隔膜层，压电陶瓷层与隔膜层的其中一面固定连接，隔膜层的另一面与阀体构成泵腔；压电陶瓷层以高频驱动，使隔膜层形变时产生波浪结构，波浪结构包括波峰与波谷；其中，相邻波峰与波谷的距离小于泵腔内流体入口通道与出口通道的距离，波谷与阀体接触产生密封，对流体进行止逆，流体随波浪结构的运动，从入口通道转移至出口通道。本发明中，流体在隔膜层不断的波浪结构中循环往复的从中心向边缘运动，达到吸入与排出的单向流动，从而省去了在阀体内设置单向阀，使得压电泵可以做的更轻薄的基础上，实现很好的止逆效果。