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一种紧凑型的软X射线能谱仪
Abstract:
本发明公开了一种紧凑型的软X射线能谱仪,所述紧凑型的软X射线能谱仪包括前端瞄准CCD相机、X射线中性衰减片、滤片监视CCD、选通金属滤片、限孔光阑、X光平面镜、准直监视CCD、X光闪烁体光阑和X射线光电二极管。本发明提供的一种紧凑型的软X射线能谱仪,体积较传统的软X光能谱仪减小了100多倍,可基于诊断搭载平台使用,实现高效的多角度能谱测试,降低维护和加工成本的同时,提高操作的便捷性和测试的精度,解决了目前谱仪小型化设计、谱仪色散元件的模块一体化设计、线上线下快速准直以及在线监视功能的技术问题。
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