本发明提供了大型柔性薄膜遮光罩接地工艺，包括以下步骤：S1、标记接地点；将大型柔性薄膜遮光罩根据要求，初步划线，标记接地点；S2、贴合接地焊片；将焊接好的接地焊片使用双面压敏胶带，贴合在薄膜组件上，并将薄膜组件面膜粘接在薄膜组件上；S3、铳孔；使用冲子，穿入接地焊片对薄膜组件进行铳孔处理；S4、冲铆；用铆钉从无孔渗碳膜一面穿入，从打孔渗碳膜一面穿出，并在穿出位置上的铆钉加垫片，使用冲头对准铆钉凹孔，固定好，敲击直至铆钉卷边；S5、铆接；将紧边棒对准铆钉卷边位置，使用榔头敲击直至铆钉垫片压紧薄膜。本发明配合使用铆接，加强过程中的外力加载，来保证大型柔性薄膜遮光罩高性能接地处理及高可靠铆接。