一种静电薄膜超声换能器及其制作工艺
摘要:
本发明公开了一种静电薄膜超声换能器及其制作工艺,所述换能器包括至少一个超声发声单元,每个超声发声单元包括上下层叠设置的振动层和基层,振动层和基层之间设置有至少一个支撑结构,振动层和基层之间通过支撑结构的支撑形成有空气间隙;振动层采用第一电路板,基层采用第二电路板,第一电路板为柔性电路板。本发明通过用电路板作为换能器的振动层和固定基层,简化换能器的结构,且通过成熟的电路板工艺来制作该静电薄膜超声换能器,简化其制作工艺,从而减少了产品开发和生产周期,降低成本。
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