发明公开
- 专利标题: 一种溅射阴极及磁控溅射设备
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申请号: CN202310552116.5申请日: 2023-05-16
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公开(公告)号: CN116288218A公开(公告)日: 2023-06-23
- 发明人: 黎焕明 , 毕飞飞 , 姜天豪 , 胡鹏 , 蓝树槐
- 申请人: 上海治臻新能源股份有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房
- 专利权人: 上海治臻新能源股份有限公司
- 当前专利权人: 上海治臻新能源股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房
- 代理机构: 北京汇思诚业知识产权代理有限公司
- 代理商 周放
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; H01J37/34
摘要:
本申请涉及一种溅射阴极及溅射沉积组件,所述溅射阴极包括:圆柱靶材,所述圆柱靶材具有内腔;磁场组件,至少两个所述磁场组件位于所述圆柱靶材的内腔内;其中,所述磁场组件包括磁轭、第一磁体和第二磁体,所述第一磁体和所述第二磁体与所述磁轭固定连接,所述第一磁体的剩磁强度与所述第二磁体的剩磁强度不同,从而使得该磁场组件形成的磁场为非平衡磁场,并且磁力线能够延伸到磁控溅射设备的腔体内部的基材表面,提高磁控溅射设备的腔体内的等离子体的密度,进而改善沉积涂层的质量。
公开/授权文献
- CN116288218B 一种溅射阴极及磁控溅射设备 公开/授权日:2023-08-22
IPC分类: