一种溅射阴极及磁控溅射设备
摘要:
本申请涉及一种溅射阴极及溅射沉积组件,所述溅射阴极包括:圆柱靶材,所述圆柱靶材具有内腔;磁场组件,至少两个所述磁场组件位于所述圆柱靶材的内腔内;其中,所述磁场组件包括磁轭、第一磁体和第二磁体,所述第一磁体和所述第二磁体与所述磁轭固定连接,所述第一磁体的剩磁强度与所述第二磁体的剩磁强度不同,从而使得该磁场组件形成的磁场为非平衡磁场,并且磁力线能够延伸到磁控溅射设备的腔体内部的基材表面,提高磁控溅射设备的腔体内的等离子体的密度,进而改善沉积涂层的质量。
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