本发明公开了一种薄片材料的激光清洗装置，包括位移机构，所述位移机构的一侧同时设置有过滤机构、激光清洗机构和温度测量机构，所述激光清洗机构和温度测量机构相连，所述过滤机构位于激光清洗机构和温度测量机构的顶端，所述激光清洗机构包括清洗装置本体，且清洗装置本体的底端固定连接有激光头，所述温度测量机构包括温度探头和第二温度探头，且温度探头和第二温度探头相连，所述温度探头的一侧外壁连接有射频读取器，所述位移机构包括底板，所述底板的一侧外壁设置有多个射频标签，且多个射频标签顺序设置，本发明公开的薄片材料的激光清洗装置具有通过温度监控识别未清洗干净的区域，且定位数据更为准确的效果。