发明授权
- 专利标题: 一种小芯片焊料厚度平整性的控制方法
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申请号: CN202310323657.0申请日: 2023-03-30
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公开(公告)号: CN116031169B公开(公告)日: 2023-06-23
- 发明人: 闵卫涛 , 陈宏明 , 孙文强 , 梁国强 , 刘旭昌
- 申请人: 华羿微电子股份有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市经济技术开发区高铁新城尚稷路8928号
- 专利权人: 华羿微电子股份有限公司
- 当前专利权人: 华羿微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市经济技术开发区高铁新城尚稷路8928号
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 薛梦
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; B23K1/00 ; B23K3/08
摘要:
本发明公开了一种小芯片焊料厚度平整性的控制方法,目的是解决现有粘片技术中存在的焊料厚度不平整的问题,该方法包括:提供框架载体,框架载体表面覆盖有粘片材料,粘片材料为软焊料;目标芯片,目标芯片单边小于4000um;软焊料固晶机,包括焊头,焊头通过电磁阀进行真空、弱吹风、强吹风、无空气之间的转换,焊头连接有吸嘴;通过焊头在一定高度将目标芯片从吸嘴吹离,目标芯片吹落至框架载体上,进行粘片。该方法使用高抛工艺,利用较高的焊接高度与一定的弱吹风来进行粘片,粘片后焊料能够回流完全,芯片四脚焊料厚度能够达到基本一致,确保粘片后的平整性,能够极大降低因焊料厚度不平整而影响后道工序加工的难度。
公开/授权文献
- CN116031169A 一种小芯片焊料厚度平整性的控制方法 公开/授权日:2023-04-28
IPC分类: