发明公开
- 专利标题: 一种基于光热效应的二维黑磷柔性红外探测器及其制备方法
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申请号: CN202310062812.8申请日: 2023-01-16
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公开(公告)号: CN115911159A公开(公告)日: 2023-04-04
- 发明人: 苗金水 , 李唐鑫 , 胡伟达
- 申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 代理机构: 北京高沃律师事务所
- 代理商 王立普
- 主分类号: H01L31/0392
- IPC分类号: H01L31/0392 ; H01L31/113 ; H01L31/0232 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供了一种基于光热效应的二维黑磷柔性红外探测器及其制备方法,属于红外探测技术领域。本发明提供的基于光热效应的二维黑磷柔性红外探测器包括红外探测器基体、源电极和漏电极和封装层;所述红外探测器基体包括依次层叠的聚酰亚胺衬底、栅电极层、栅氧化层和黑磷层;所述源电极和漏电极位于所述黑磷层表面;所述封装层位于所述红外探测器基体的黑磷层一侧、覆盖所述红外探测器基体且裸露出所述源电极和漏电极。在本发明中,聚酰亚胺衬底柔性高,热导率低,在红外光照射下衬底的温度升高,产生热效应增强了光子的散射,从而降低了载流子的迁移率,由此产生的负光电导降低了黑磷晶体管在开态时的电流,显著提高了红外探测器的光响应率。
IPC分类: