一种化合物低温连续合成装置及合成方法
摘要:
一种化合物低温连续合成装置及合成方法,属于化合物半导体技术领域,所述装置包括恒温腔、旋转飞轮系统、气源供气系统、金属滴液系统,所述方法包括:将合成所需的材料分别放置在金属滴液系统和气源供气系统中,将恒温腔升温并保持,将气氛元素注入恒温腔,启动旋转飞轮系统,加热金属滴液系统并将金属液滴注入到恒温腔,实现化合物的合成。本发明的合成温度远低于化合物的熔点温度,降低了化合物与容器的接触沾污,合成纯度高、设备制造难度低,气源损失少,可实现化合物多晶材料的高纯、低成本的合成。
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