发明公开
- 专利标题: 一种化合物低温连续合成装置及合成方法
-
申请号: CN202210938160.5申请日: 2022-08-05
-
公开(公告)号: CN115869853A公开(公告)日: 2023-03-31
- 发明人: 史艳磊 , 孙聂枫 , 王书杰 , 刘峥 , 付莉杰 , 徐成彦 , 秦敬凯 , 邵会民 , 王阳 , 李晓岚 , 刘惠生 , 张晓丹 , 张鑫 , 李亚旗 , 赵红飞 , 康永 , 谷伟侠 , 吴中超 , 吴畏 , 高鹏 , 王赫
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市新华区合作路113号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市新华区合作路113号
- 代理机构: 石家庄众志华清知识产权事务所
- 代理商 王苑祥; 李双金
- 主分类号: B01J3/00
- IPC分类号: B01J3/00 ; B01J3/02
摘要:
一种化合物低温连续合成装置及合成方法,属于化合物半导体技术领域,所述装置包括恒温腔、旋转飞轮系统、气源供气系统、金属滴液系统,所述方法包括:将合成所需的材料分别放置在金属滴液系统和气源供气系统中,将恒温腔升温并保持,将气氛元素注入恒温腔,启动旋转飞轮系统,加热金属滴液系统并将金属液滴注入到恒温腔,实现化合物的合成。本发明的合成温度远低于化合物的熔点温度,降低了化合物与容器的接触沾污,合成纯度高、设备制造难度低,气源损失少,可实现化合物多晶材料的高纯、低成本的合成。