- 专利标题： 基于硅氢加成反应的飞秒激光光刻胶及制备、图案化方法
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申请号： CN202211447277.X申请日： 2022-11-18
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公开(公告)号： CN115826354B公开(公告)日： 2023-08-25
- 发明人: 赖慧颖 , 曹春 , 匡翠方 , 沈小明 , 邱毅伟 , 关玲玲 , 夏贤梦 , 李佳伟 , 马鹏程 , 刘旭
- 申请人： 之江实验室 , 浙江大学
- 申请人地址： 浙江省杭州市余杭区之江实验室南湖总部;
- 专利权人： 之江实验室,浙江大学
- 当前专利权人： 之江实验室,浙江大学
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市余杭区之江实验室南湖总部;
- 代理机构： 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 邱启旺
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/20
摘要：
本发明公开了一种基于硅氢加成反应的飞秒激光光刻胶及制备、图案化方法，该光刻胶包括含硅氢键化合物和含不饱和双键化合物，通过非线性双光子吸收，发生硅氢加成反应交联形成三维网状结构，显影后得到图案。本发明的光刻胶体系中无光引发剂，通过飞秒激光诱导共价键生成，无需催化剂即可进行硅氢加成反应，操作简单；同时，光刻胶体系中含硅氧烷结构，具有耐候性、耐氧化稳定性、耐腐蚀等特性，有助于增加与基材的附着力。
公开/授权文献
- CN115826354A 基于硅氢加成反应的飞秒激光光刻胶及制备、图案化方法 公开/授权日：2023-03-21
IPC分类:
