本发明提供一种加氧设备氧源系统的异常诊断方法、系统、设备及介质，预设氧源系统温度阈值，并实时检测氧源系统温度，若超出氧源系统温度阈值，则异常；基于氧源系统历史运行数据气源压力随时间的曲线，并形成空压机充气安全极限曲线，若某时刻对应的压力低于压力安全极限曲线对应时刻的压力值时，则异常；预设氧源系统过滤器压力阈值，实时检测上一级空压机过滤器前的压力值和此级空压机过滤器前的压力值的差值，若差值大于等于压力阈值，则异常；预设气源压力偏差阈值，实时采集气源压力值，采用三取相互偏差检查的方式判断气源压力是否异常；本申请提高了锅炉加氧工艺运行的安全性，节省了维护氧源系统的人工成本，且应用广泛。