本发明提供了一种高集成度的高纯氟气供给系统，包括：可移动基板(40)；集成设置在可移动基板(40)上的电解槽装置(10)以及氟气纯化装置(20)，其中，所述可移动基板(40)具有一水平面，所述电解槽装置(10)设置在所述水平面上；所述高集成度的高纯氟气供给系统还进一步包括设置在所述水平面上的两个水平仪(41)，所述水平仪(41)分别设置在所述水平面上相互垂直的两条直线上，从而用于判断所述电解槽装置(10)整体是否处于水平。