本发明属于硅单晶制造技术领域，涉及一种绿色环保可复用硅料清洗液及其制备方法和清洗工艺；所述硅料清洗液包括1#清洗液和2#清洗液；1#清洗液包括基底和氧化层腐蚀剂；2#清洗液包括pH调节剂、氧化剂、基底；硅料清洗液不含任何强酸强碱成分，极大改善了操作人员的工作环境，降低了对操作人员的健康威胁；硅料清洗液对硅料腐蚀性低且可复用，降低了对硅料和清洗液的消耗，降低成本；硅料清洗液组成成分绿色环保，对环境污染小，简单处理后即可进行排放，降低废物废液处理成本；清洗工艺依次清洗去除表面颗粒、无机盐、氧化层、金属污染物、有机物，改进了现有工艺繁琐、冗杂的清洗方式，提高清洗效率，具有广阔的研究价值和工业应用前景。