本申请提出一种晶圆检测平台及其方法，检测平台包括基座、底座和检测台，将底座安装于基座的上方；检测台安装于底座的上方；通过第一驱动机构将底座连接在基座上；通过第二驱动机构将检测台连接在底座上；使用上视觉系统对晶圆的正面进行取像；使用下视觉系统对晶圆的背面进行取像。本申请提供的一种晶圆检测平台，通过第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构将检测台上的晶圆运送到检测位，并同时对晶圆的正面和背面进行取像，能够减少产品损坏的风险；晶圆检测过程中，还对晶圆上点的位置进行补偿，将晶圆坐标与检测台坐标建立了转换关系，还通过公式计算，对晶圆位置进行补偿，提高了晶圆检测精度，能快速且精准的找到晶圆上的缺陷位置。