本发明公开了一种配电柜自供能臭氧监测传感器及信号处理方法，属于臭氧监测传感器技术领域，包括电磁场供电模块、臭氧监测传感模块、臭氧监测信号处理模块、无线监测数据传输模块和臭氧监测控制预警模块；本发明利用电磁场供电模块实现自供电臭氧监测，并利用臭氧监测信号处理方法处理配电柜臭氧监测信号，提升臭氧监测数据精度，通过臭氧预警模型对配电柜内放电导致臭氧泄露进行准确预警，实现配电柜绝缘状态实时监测，本发明解决了现有臭氧监测传感器难以自供能和监测数据精度不足的问题。