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气体精确配制与浓度测量系统
Abstract:
本发明公开了气体精确配制与浓度测量系统,包括气体浓度检测与配制子系统和气体浓度测量与配制监控平台,实现对气体浓度的测量与配置过程的监控;本发明为了在气体检测与动态配气中提高气体浓度的精确性和快速响应性,减少气体测量与配置系统滞后所带来的气体浓度误差,提高气体测量与配置系统的响应速度,通过气体测量与动态配气过程中对气体浓度进行精确检测和调节,应用气体浓度测量与配制监控平台对气体浓度的检测与配置过程进行信息化管理与远程监控,满足用户对气体检测与配气的要求。
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