微机电挡片及其制备方法、图像传感器组件及其制备方法、图像传感器及其制作方法
摘要:
本申请公开一种微机电挡片及其制作方法、图像传感器组件及其制作方法、图像传感器及其制备方法,涉及视频处理领域,用于减小图像传感器的尺寸,并提高图像传感器的工作效率。所述微机电挡片包括挡片层,所述挡片层包括微机电结构图案;所述微机电结构图案包括:具有开口的支撑结构图案;遮挡部分所述开口的挡片结构图案;以及,连接在所述支撑结构图案与所述挡片结构图案之间的致动结构图案;所述挡片结构图案的包括间隔设置的多条挡光条,所述挡光条用于遮光,相邻的两个所述挡光条之间的间隔区域用于透光。微机电挡片用于控制红外辐射信号的透过。
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