基于调Q锁模技术的斑块消蚀系统
摘要:
本发明公开了一种基于调Q锁模技术的斑块消蚀系统,包括调Q锁模组件、激光放大组件、可调反射镜、三倍频输出支路、四倍频输出支路、激光消蚀模块;将泵浦源输出的泵浦光聚焦到激光晶体,利用谐振腔形成调Q锁模脉冲激光输出;通过将放大后的激光反射到三倍频输出支路或四倍频输出支路;输出355nm激光或输出266nm激光;实现了以调Q锁模脉冲激光器为基础,通过激光放大技术与非线性光学频率变换技术相结合的方式,实现大能量调Q锁模355nm及266nm激光输出。实现了脉冲模式的可切换输出,针对不同类型的斑块切换不同频段的激光,使斑块消蚀过程更精准,提高了斑块消蚀速率,达到了更好的消蚀效果。
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