本发明公开了功率循环过程中阈值电压的测量电路，涉及电压检测技术领域，包括开关S1、开关S2、开关S3、开关S4、开关S5和待测器件DUT，所述开关S1的一端连接开关S2、待测器件DUT的源极、开关S4和开关S5，开关S2的另一端连接开关S3和待测器件DUT的栅极，开关S3的另一端连接开关S1的另一端、开关S4的另一端、开关S5的另一端和待测器件DUT的漏极，本发明的测试方法结合了快速脉冲法和弛豫法的优点，能实现在功率循环过程中实时且快速地测量待测器件的阈值电压漂移，操作简单，准确性高。