- 专利标题: 用于制造电光转换器构件的间隔晶片、间隔件、用于制造间隔晶片的方法以及包括间隔件的电光转换器构件
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申请号: CN202180030922.5申请日: 2021-04-29
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公开(公告)号: CN115461880A公开(公告)日: 2022-12-09
- 发明人: U·普切尔特 , M·布莱辛格 , S·海灵 , F·瓦格纳 , M·海斯-周奎特 , V·格莱瑟 , A·奥特纳 , M·德里奇 , A·霍尔伯格 , R·海特乐 , L·穆勒
- 申请人: 肖特股份有限公司
- 申请人地址: 德国美因茨
- 专利权人: 肖特股份有限公司
- 当前专利权人: 肖特股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国美因茨
- 代理机构: 北京思益华伦专利代理事务所
- 代理商 赵飞; 李敬
- 优先权: 102020111728.0 20200429 DE
- 国际申请: PCT/EP2021/061256 2021.04.29
- 国际公布: WO2021/219782 DE 2021.11.04
- 进入国家日期: 2022-10-25
- 主分类号: H01L33/60
- IPC分类号: H01L33/60
摘要:
本发明提供了一种间隔晶片(1),所述间隔晶片用于通过从间隔晶片(1)分离区段(4)来制造用于容纳电光转换器(3)的间隔件(2)。间隔晶片(1)包括透明玻璃板(10),所述透明玻璃板(10)具有呈网格分布设置的、相互隔开的多个开口(5),从而沿着所述开口(5)之间的分隔线(7)通过分离所述玻璃板(10)的区段(4)获得单独的间隔件(2),其中,所述开口(5)具有侧壁(50),所述侧壁(50)具有带有粗糙度的微结构(9),其中,粗糙度的平均粗糙值Ra在测量段为500μm的情况下小于0.5μm。
IPC分类: