用于制造电光转换器构件的间隔晶片、间隔件、用于制造间隔晶片的方法以及包括间隔件的电光转换器构件
摘要:
本发明提供了一种间隔晶片(1),所述间隔晶片用于通过从间隔晶片(1)分离区段(4)来制造用于容纳电光转换器(3)的间隔件(2)。间隔晶片(1)包括透明玻璃板(10),所述透明玻璃板(10)具有呈网格分布设置的、相互隔开的多个开口(5),从而沿着所述开口(5)之间的分隔线(7)通过分离所述玻璃板(10)的区段(4)获得单独的间隔件(2),其中,所述开口(5)具有侧壁(50),所述侧壁(50)具有带有粗糙度的微结构(9),其中,粗糙度的平均粗糙值Ra在测量段为500μm的情况下小于0.5μm。
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