一种音圈电机转镜激光清洗系统及其清洗方法
摘要:
本发明涉及一种音圈电机转镜激光清洗系统及其清洗方法,该系统包括:激光发射器、前聚焦扫描振镜、音圈电机以及双轴快速转向镜;激光发射器,用于产生初始激光并经过激光通道照射至所述前聚焦扫描振镜;前聚焦扫描振镜,用于对初始激光进行聚焦得到清洗激光;音圈电机,用于根据待清洗部位调整双轴快速转向镜的倾斜角度;双轴快速转向镜,用于反射所述清洗激光将所述清洗激光照射至待清洗部位进行清洗。本发明提供的一种音圈电机转镜激光清洗系统及其清洗方法,可以通过音圈电机根据实际需要调整双轴快速转向镜的角度,以改变清洗部位。
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