一种无走离的266nm紫外激光合频技术装置以及使用方法
Abstract:
本发明公开了一种无走离的266nm紫外激光合频技术装置以及使用方法,涉及光学器件加工及检测技术领域,为解决现有的技术方案中,倍频晶体和非线性晶体级联的合频方案中的走离现象。所述基频光在倍频前利用波片加偏振片的方式进行分束,一部分进入倍频晶体用于产生355nm激光,另一部分进入合频晶体,所述合频晶体前两束激光通过第二分光镜进行合束。
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