声波谐振器及其设计方法、制造方法
摘要:
本发明公开了一种声波谐振器,包括:衬底;压电层,压电层包括压电晶体,压电晶体的切向为110°Y切~130°Y切或者10°Z切~30°Z切,压电层适用于在横向电场的作用下激发出第三阶反对称模态的声波;金属电极层,包括由多个正负金属电极交替排布构成的金属电极阵列,金属电极阵列形成横向电场,通过旋转欧拉角将金属电极层形成在压电层上,使横向电场的方向与压电晶体在全局坐标系下的+X轴方向成‑30°~+30°,+X轴方向表示初始声波的传播方向;其中,压电层在横向电场的作用下激发出第三阶反对称模态的声波,使声波谐振器在谐振频率大于20GHz的超高频段实现大于7%的机电耦合系数。
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